本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:电感耦合等离子体质谱仪和氢气发生器和离子色谱
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:****-************
招标项目名称:上海集材汇智集成电路技术有限公司电感耦合等离子体质谱仪和氢气发生器和离子色谱采购项目
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 电感耦合等离子体质谱仪(***-**) | 1 | 用于半导体制程环境洁净度检测,半导体抛光液杂质含量检测、低纯度金属前驱体杂质含量检测。 | ****.**.**前 |
2 | 电感耦合等离子体串联质谱仪(***-**/**) | 1 | 用于半导体制程环境洁净度检测,半导体衬底材料表面金属杂质含量检测及硅烷类前驱体杂质含量检测。 | ****.**.**前 |
3 | 氢气发生器 | 2 | 用于提供超**级的氢气气源 | ****.**.**前 |
4 | 离子色谱仪 | 1 | 用于常规集成电路材料中阴、阳离子的分析 | ****.**.**前 |
5 | 燃烧炉离子色谱系统 | 1 | 用于常规固体、非水溶性液体中卤素和硫的分析 | ****.**.**前 |
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